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快速自动退火炉(Rapid Thermal Annealing Furnace, RTP)

发布时间: 2025-12-16    浏览次数:0

快速自动退火炉(简称 RTP,Rapid Thermal Processing/Annealing)是一种利用高强度辐射光源(红外灯阵列)对样品进行极速加热与快速冷却的热处理设备。其工作过程通常在几秒至几分钟内完成,通过非接触式红外测温 + 闭环反馈控制,实现对温度曲线的高精度调控。

  

产品详情
应用领域
产品视频
应用案例

设备特点:

1、双层钢结构;

2、高纯度Al2O3纤维耐火保温材料,最大节约能源;

3、耐火陶瓷上的高纯度氧化铝涂层可延长使用寿命;

4、氧化铝管塞可帮助您在管内建立自定义的温度梯度;

5、该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6。

产品型号

NBD-HR1200-110TI

电气规格

AC380V   15KW

可达温度

1100 ℃(长时间使用必须外接水冷装置)

长期使用温度范围

300~1150℃ (连续使用必须外接水冷装置)

可达加热速率

建议≤ 100 ℃/S

加热区长度

200mm

传感器类型

S型单铂铑

加热区长度

200mm

反应腔室内径尺寸

Φ100X200mm

式样有效空间

3.5"

炉管尺寸

Φ80*120mm

控制系统

1、可预存15条温度曲线,避免不同的实验工艺重复设置带来的麻烦;
2、实验过程更加直观,操作更加便捷;
3、NBD-101E嵌入式操作系统中英文互换图形界面,7寸真彩触屏输入,智能式人机对话模式,非线性式样温度修正;
4、具有超温报警、断偶提示、漏电保护等功能。

弱腐蚀性气体预热器

(可选配)

 

通体采用316L材料,对于各种气体以及腐蚀性气体的预加热处理,

满足特殊的工艺需求,最高温度达600℃

温度精度

±1℃

加热元件

短波红外线加热孪管

密封系统 

                                               

真空度:10Pa(机械泵)

压力测量与监控

 

采用数显真空计,可使设备炉管内的真空度显示更加直观,实验结果更加准确。

设备使用注意事项

1.设备炉膛温度≥300℃时,禁止打开炉膛,避免受到伤害;

2.炉膛连续使用产生的轻微裂纹属于正常现象,不影响设备的正常使用;

净重

90kg

服务支持

一年有限保修,提供终身支持(保修范围内不包括易耗部件,例如处理管和O形圈,请在下面的相关产品处订购更换件)。

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一、新能源材料(核心应用)

1. 锂/钠离子电池正极材料

  • 高镍单晶三元材料(NCM811/NCA):

  • 采用“低温预烧 + 高温主烧”两段滑动工艺,抑制微裂纹,提升单晶率与循环稳定性;

  • 富锂锰基材料(xLi₂MnO₃·(1-x)LiMO₂):

  • 通过滑轨炉精确控制氧释放温度区间,减少首次不可逆容量损失;

  • 磷酸铁锂(LFP):

在还原气氛中实现碳包覆均匀化,提升倍率性能。

2. 固态电池关键材料

  • 氧化物固态电解质(LLZO、LATP):

  • 炉体快速移开实现淬火,抑制Li挥发,稳定立方相结构,提升离子电导率;

  • 正极/电解质复合电极:

  • 梯度退火优化界面接触,降低界面阻抗;

  • 硫化物电解质前驱体:

低温(<300°C)滑动热处理,避免H₂S释放,保障安全。

3. 负极与界面工程

  • 硅碳复合材料:

  • 多段热解碳包覆,滑轨控制升温速率防止Si团聚;

  • 人工SEI膜构建:

锂金属表面涂层在惰性气氛下原位退火,提升库仑效率。

二、催化与化工材料

  • 负载型催化剂(Pt/Al₂O₃、Co-Mo/Al₂O₃):

  • 实现程序升温还原(TPR)或氧化(TPO),精准控制金属价态与分散度;

  • 钙钛矿型催化剂(LaCoO₃、SrTiO₃):

  • 梯度烧结调控氧空位浓度,优化催化活性;

  • 分子筛与多孔材料:

分段脱水-焙烧,防止孔道坍塌。

优势:避免手动推拉导致的催化剂床层扰动,保障反应一致性。

三、光电与半导体功能材料

  • 荧光粉(YAG:Ce³⁺、β-SiAlON:Eu²⁺、KSF:Mn⁴⁺):

    • 在N₂/H₂或N₂气氛中完成还原烧结;

    • 滑轨快速出料防止Eu²⁺氧化为Eu³⁺,保持高发光效率;

  • 透明导电氧化物(ITO、AZO):

  • 控制氧分压退火,优化载流子浓度与透光率;

  • 二维材料后处理:

CVD生长后的MoS₂、WS₂经滑轨炉退火,实现2H→1T相转变或缺陷修复。

四、先进陶瓷与结构材料

  • 透明陶瓷(YAG、AlON、MgAl₂O₄):

  • 真空或H₂气氛下烧结后快速冷却,抑制气孔聚集与第二相析出;

  • 氮化硅(Si₃N₄)、赛隆(Sialon):

  • 气压烧结(可选配)+ 滑轨控温,优化晶间相分布;

  • 热电材料(Bi₂Te₃、PbTe、Skutterudites):

模拟“行波加热”实现定向晶化,提升ZT值。

五、科研与高通量材料开发

  • 材料基因工程:

  • 在滑轨上布置10–20个不同成分样品舟,炉体依次覆盖处理,实现高通量热处理筛选;

  • 动力学研究:

  • 精确控制“升温-保温-冷却”时间窗口,研究相变、扩散、烧结动力学;

  • 教学实验平台:

直观演示温度梯度、停留时间对材料形貌/性能的影响(如ZnO纳米棒阵列生长)

七、典型用户类型

  • 高校与科研院所:材料学院、化学系、物理系用于基础研究;

  • 电池/正极材料企业:宁德时代、比亚迪、容百科技、当升科技等研发中心;

  • 稀土/荧光粉厂商:有研稀土、厦门钨业等;

  • 半导体与光伏企业:用于薄膜退火、钝化工艺开发;

  • 国家级重点实验室:固态电池、催化、量子材料等方向平台建设。


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