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智能立式旋转沉积炉

发布时间： 2026-08-04 浏览次数：110

本款1200℃立式管式炉是集成高温烧结、精准气控、动态物料处理、安全尾气净化、智能真空氛围调控于一体的高端多功能热处理设备，采用立式垂直炉体结构搭配高纯石英管炉膛，完美适配各类粉体、片材、复合材料的退火、烧结、还原、气相沉积、表面改性等工艺。设备创新性搭载旋转物料架与精密提拉装置，搭配高精度质量流量计、真空/微正压双环境控制系统及专业尾气处理模块，彻底解决传统管式炉温场不均、物料堆积粘连、气氛失控、尾气污染、取放料不便等行业痛点，广泛适用于高校科研院所、新材料、半导体、光伏、精细化工等领域的实验研发与小批量精密生产。

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应用案例

	设备特点： 1. 1200℃高温稳定系统，高纯石英管炉膛设备额定最高工作温度1200℃，采用优质电阻丝环绕加热技术，搭配智能PID程序控温系统，控温精度可达±1℃，温场均匀性极佳，支持多段可编程升温、保温、降温工艺，可精准匹配各类材料热处理工艺需求。炉膛采用高纯透明石英管材质，耐高温、抗氧化、耐腐蚀、热稳定性强，高温下无杂质析出，不污染实验样品，透光性好且易清洁维护，使用寿命远超普通炉管材质，适配长期高频次实验与生产作业。双层炉体隔热结构设计，有效降低机身表面温度，节能降耗的同时大幅提升设备运行安全性。 2. 旋转物料架结构，全域均匀热处理标配智能匀速旋转物料承载架，物料可在高温恒温区间内匀速旋转运动，彻底改变传统固定式炉体物料受热不均、单面烧结、工艺一致性差的问题。旋转运行平稳无抖动，可实现样品360°全方位均匀受热、均匀气相接触，大幅提升材料烧结致密性、薄膜沉积均匀性与批次实验重复性，尤其适配粉体悬浮烧结、薄膜镀膜、异形工件热处理等高精度工艺，从结构上保障实验与生产数据的稳定性与可靠性。 3. 真空/微正压双环境，全域气氛可控设备支持高真空环境与微正压惰性气氛环境双向切换，可快速抽除炉内空气、水汽及杂质气体，杜绝样品高温氧化、碳化、污染问题。既能满足高真空退火、真空脱气、真空烧结工艺，也可通入氮气、氩气、氢气等保护气体，维持稳定微正压气氛，有效防止外界空气倒灌，适配各类易氧化、易挥发、高活性材料的热处理加工，工况适配范围广，满足多样化工艺研发与生产需求。 4. 高精度质量流量计，气体精准配比配备工业级高精度质量流量控制系统，相比传统流量计，可实时精准监测、自动调控各路气体流量，不受温度、压力波动影响，气体配比精度高、稳定性强。支持多路气体独立控制、自动切换、恒定流量供气，可精准实现气氛浓度、气流速率的标准化管控，保障气相反应、气氛烧结等工艺的一致性，有效提升实验数据可复刻性与产品批次合格率。 6. 专业尾气处理系统，安全环保合规配套一体化专用尾气处理装置，针对热处理过程中产生的粉尘、挥发性有机物、酸性碱性废气、残余可燃气体等有害物质，实现多级过滤、吸附、净化处理。尾气处理效率高，可有效降解、吸附有害污染物，达标排放，杜绝废气外泄风险，兼顾设备运行安全与实验室、车间环保规范，适配长期连续作业需求，解决传统管式炉尾气污染、安全隐患大的问题。
设备名称	智能立式旋转沉积炉
规格型号	NBD-LTO1200-120TID2ZY5L-N
供电电源	AC220V 50HZ
额定功率	4.8KW
控温精度	±1℃
加热元件	合金电阻丝
传感器类型	K型热电偶
Tmax	1200℃
长期工作温度	≤1150℃
推荐升温速率	≤10℃/min
反应腔规格及样品台	高纯石英腔φ120/样品台φ90mm
进气管类型及尺寸	高纯石英φ16
温区	200+200mm，双温区控制
流量计类型	一路浮子流量计：0.5-8L/min 两路质量流量计： S500 200SCCM φ6.35双卡套氮气标定 S500 500SCCM φ6.35双卡套氮气标定
旋转速度	20~500rpm
手摇丝杠滑台	行程530mm
洗气瓶容积	1000ml，两个
真空泵规格	NBD-10C KF25接口
水冷机容量	5L
炉体尺寸	长877高1897深610mm
炉体重量	约150KG
控制系统		1、烧结工艺曲线设置：动态显示设置曲线，设备烧结可预存多条工艺曲线，每条工艺曲线可自由设置； 2、可预约烧结，实现无人值守烧结工艺曲线烧结； 3、实时显示烧结功率电压等信息并记录烧结数据，并可导出实现无纸记录； 4、具有实现远程操控，实时观测设备状态； 5、温度校正：主控温度和试样温度的差值，烧结全程进行非线性修正。
旋转物料架结构		物料可在高温恒温区间内匀速旋转运动，可实现样品360°全方位均匀受热、均匀气相接触
预约烧结		优化设备利用率、保障烧结工艺稳定性、节省等待时间，实现高效有序的样品制备。
实验数据存储		保障数据安全完整、规范化管理与高效检索。
非线性温度修正		通过算法非线性修正控温点与样品由于在温场中位置不同而产生的温度偏差，提升控制温度与样品温度的一致性、简化操作，提升实验数据准确。
可预设多组工艺程序		可预设多组实验专属温度程序、保障实验重复性与操作便捷性，支持工艺优化与数据追溯，适配团队协作与技术传承，大幅提升实验效率与设计灵活性。
远程操控		可通过电脑、手机等终端，随时随地登录控制系统查看加热炉运行状态（温度、压力、升温速率等），并根据实验需求远程调整参数、启动 / 暂停程序。夜间或节假日无需往返实验室，即可应对实验过程中的参数微调需求；跨地域出差时也能实时监控关键实验进程，大幅减少无效通勤时间，让科研人员更高效地分配工作精力。
压力测量与监控		采用机械压力表，表外壳为气密型结构，能有效保护内部机件免受环境影响和杂物侵入，同时具有较强的耐腐蚀和耐高温的能力。
浮子流量计		采用浮子流量计控制气体流速，与设备集成为一体，且出厂前已进行漏气测试工作。
设备使用注意事项	1.设备使用时，绝对压力表读数不要大于0.15MPa，以防止压力过大造成设备损坏； 2.真空下使用时，建议设备使用温度不得超过800℃，如有更高温度需求请联系我们进行咨询； 3.使用该设备前，请仔细阅读刚玉制品使用注意事项；
服务支持	1年质保，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如炉管和密封圈等）。