设备简介:
超声雾化热解CVD系统是一款融合超声雾化、高温热解与气相沉积技术的一体化材料制备设备,以高温管式炉为核心主体,创新性集成精密注射泵、超声雾化器、静电收集装置与自动倾斜机构,突破了传统材料制备设备工序分散、精度低、连续性差的短板。
该系统可实现标准化连续化制备流程,前驱体溶液经精密注射泵定量输送,由雾化器转化为均匀微细气溶胶液滴,随载气进入高温管式炉完成溶剂蒸发、热解反应、晶粒生长等一系列物化过程,最终通过静电收集或原位沉积完成产物富集成型。配套的自动倾斜机构可灵活调控反应腔体工况,大幅提升工艺稳定性与产物均匀性,适配各类液态前驱体的加工需求。
设备应用场景广泛,核心覆盖纳米粉体精准合成、气溶胶辅助沉积、功能薄膜涂层制备、材料烧结与精密热处理等前沿材料研发领域,可制备金属氧化物、复合粉体、导电薄膜等多种高性能材料。整体设备自动化程度高、工艺可控性强,适配高校、科研院所及企业研发中心的新材料工艺探索、样品试制与小批量制备工作,是先进功能材料研发的核心实验装备。


适用于科研院校及工矿企业在新材料、新能源等领域物理特性及化学特性的研究