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分子泵机组(高真空系统)

发布时间: 2026-09-11    浏览次数:186

该系统采用分子泵作为主工作泵,采用机械泵作为分子泵前级泵,真空系统组成机械泵内部已配有隔断放气装置,真空系统组成它主要由连接管道,分子泵,机械泵构成,通过标准配件连接,全部采用不锈钢材料,电抛光处理。系统设计有预抽功能。高真空机组是由分子泵、前级机械泵、机架、控制 系统、电源、高真空复合真空计、阀门、触摸屏等组成的高真空获得设备,安装方便、操作简单、性能可靠。 可广泛应用于半导体设备、电真空器件、加速器、表面分析、等离子体等真 空技术的各个领域。

  

产品详情
应用领域
产品视频

整机性能参数:

项目名称

主要技术参数

JTFB-300Y 分子泵

极限真空度为<8×10-7 Pa

机械泵

极限真空为 2.6Pa

机架

非标

分子泵电源

B-300

真空计

ZDF5227D

电离规

ZJ-27

电阻规

ZJ-52T

角阀

DN40 手动高真空阀

极限真空

2×10-6 Pa

启动时间

30 分钟优于 6.5×10-4 Pa

电源电压

220V

额定功率
1.2kw

分子泵参数:

项目

参数

型号

JTFB-300Y

进气口法兰

CF100

排气口法兰

KF25

抽气速率 (L/S)(氮气)

300

极限压强 (Pa)

<8×10-7

额定转速 (rpm)

33000

使用轴承

进口陶瓷轴承

冷却方式

风冷

建议采用的前级泵 (L/S)

2~4

机械泵参数:

项目

参数

型号

TRP-12

进气口法兰

KF25

抽气速率 (L/S)

3

极限压强 (Pa)

4×10-1

容油量 (L)

1.1

禁止注意事项

(1)确保设备接地可靠,操作前检查电源线路无破损,避免漏电或短路风险。

(2)严禁在系统未完全泄压时拆卸或维修

(3)开机前确认所有接口、阀门密封良好

广泛应用于半导体设备、电真空器件、加速器、表面分析、等离子体等真 空技术的各个领域。

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