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分子泵机组(高真空系统)
发布时间: 2026-09-11 浏览次数:186
整机性能参数: | |
项目名称 | 主要技术参数 |
JTFB-300Y 分子泵 | 极限真空度为<8×10-7 Pa |
机械泵 | 极限真空为 2.6Pa |
机架 | 非标 |
分子泵电源 | B-300 |
真空计 | ZDF5227D |
电离规 | ZJ-27 |
电阻规 | ZJ-52T |
角阀 | DN40 手动高真空阀 |
极限真空 | 2×10-6 Pa |
启动时间 | 30 分钟优于 6.5×10-4 Pa |
电源电压 | 220V |
| 额定功率 | 1.2kw |
分子泵参数: | |
项目 | 参数 |
型号 | JTFB-300Y |
进气口法兰 | CF100 |
排气口法兰 | KF25 |
抽气速率 (L/S)(氮气) | 300 |
极限压强 (Pa) | <8×10-7 |
额定转速 (rpm) | 33000 |
使用轴承 | 进口陶瓷轴承 |
冷却方式 | 风冷 |
建议采用的前级泵 (L/S) | 2~4 |
| 机械泵参数: | |
项目 | 参数 |
型号 | TRP-12 |
进气口法兰 | KF25 |
抽气速率 (L/S) | 3 |
极限压强 (Pa) | 4×10-1 |
容油量 (L) | 1.1 |
禁止注意事项 | (1)确保设备接地可靠,操作前检查电源线路无破损,避免漏电或短路风险。 (2)严禁在系统未完全泄压时拆卸或维修 (3)开机前确认所有接口、阀门密封良好 |

广泛应用于半导体设备、电真空器件、加速器、表面分析、等离子体等真 空技术的各个领域。